《表3 高温试验测试数据》

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《高可靠性压力传感器的设计方法》

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传感器高温试验温度为150℃，保温时间2h，试验系统原理如图7所示，将传感器装到加压工装上，工装和传感器放入温度试验箱中，工装通过油管与箱外活塞式压力计连接，传感器通过测试电缆与箱外电源和数字表连接。试验过程中产品加电加压测试，测试传感器热零点温度漂移及热灵敏度温度漂移均满足设计要求，测试数据如表3所示。