《表1 DOE试验因子选择表》

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《基于杂质颗粒获取与分析过程改进提升清洁度检测有效性的研究》

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对杂质的取样结果产生影响的因素主要有清洗液体的特性、样件的机械结构、冲洗参数（比如冲洗量、冲洗压力、超声波清洗的振动时间）等。就这些影响因素与不同客户进行了差异对比（表1）。针对这些不同点，需要确认关键的影响因素，对关键的影响因素进行控制或改进来减少或消除该差异的存在。