《表1 线性拟合修正结果》

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《电子束曝光邻近效应修正研究》

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在CDL5_32X图形中，确定设计线宽为0.1、0.2、0.3、0.4、0.5、0.6、0.7、0.8、0.9、1.0稀疏（Iso）线条的target dose，即达到设计条宽时的曝光能量，建立.TGT文档导入软件对散射参数进行修正，结果如表1所示，DF为Target Dose、Base Dose之比。