《表3 不同间距互感值：7nm工艺下片上电感耦合情况研究》

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《7nm工艺下片上电感耦合情况研究》

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我们可以将单个片上电感与其拥有的屏蔽条件作为一个整体，等效为一个性能参数与单个片上电感加上屏蔽条件之后的测量结果相同的片上电感，这样就可以通过MATLAB软件分别计算得到不同距离条件下片上电感之间的互感，根据公式（6），我们可以计算出4种情况下的电感耦合系数。利用MATLAB软件计算距离不同时M的值，得到的M值分别如表3所示。表中s为电感中心间距，r为电感外径。