《表1 BCB匀胶参数试验结果》

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《一种基于光敏BCB技术的兰格耦合器制备工艺研究》


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由于低速阶段对膜层厚度没有影响,不在此做实验研究,统一选用转速为500 rpm、时间为6 s的参数进行。专门针对高速阶段中的转速进行试验优化,试验结果如表1所示。