《表1 空气化学污染物定义》

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《微电子行业洁净室空气化学污染控制》

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按照国际标准ISO 14644-8:2013洁净室及相关受控环境第8部分：按化学物浓度划分洁净度等级（Cleanrooms and associated controlled environments-Part 8:Classification of air cleanliness by chemical concentration（ACC）），以及美国半导体设备与材料学会SEMI，Semiconductor Equipment&Materials Institute的标准空气化学污染物的分类，如表1、表2所示。