《表3 表2中各组内变量2的参数设置》

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《AFM轻敲模式下扫描参数对成像质量影响的研究》

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针对随机表面，实验重点观察各参数之间的耦合作用对成像质量的影响规律。因P对成像质量的影响并不明显，故实验因素仅考虑I、fs和S 3个参数。实验参数设置如表2和表3所示，表中变量1和变量2分别表示以确定位置对应的扫描参数作为第1变量和第2变量。