《表1 扫描台阶标样时的参数设置》

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《AFM轻敲模式下扫描参数对成像质量影响的研究》

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本文对积分增益I、比例增益P、扫描频率fs、幅值设定点S这4个扫描参数对标准台阶成像质量的影响进行了研究。采用单因素实验法，实验设计参数如表1所示，表中自变量指以确定位置对应的扫描参数作为自变量。