《表2 不同振幅设置下样品表面粗糙度变化》

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《AFM设定值对测量准确度和探针寿命的影响》

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同时，轻敲模式写探针的磨损情况也与接触模式不同，同样通过钛合金样品的表面粗糙度的变化来表现探针的磨损程度。表2为轻敲模式下不同振幅设置的样品表面粗糙度变化，由表可以看到，在振幅设定值为250 m V时样品的表面粗糙度下降最快，说明此时探针的磨损最快。轻敲模式中，探针的磨损程度随着振幅设定值的减小先降低后升高。所以，轻敲模式应选择初始振幅附近的振幅设定值，尽量避免自由振幅一半附近的振幅设定值，以便延长探针的使用寿命。