《表1 气相中的典型生长方法及其生长示意图、特点和实例a)》

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《材料多尺度结晶研究进展》

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气相法将材料通过升华、蒸发、溅射或分解等方式转化为气相之后沉积，从而实现从源物质到晶态的相变.气相外延法将气体分子沉积在单晶衬底上生长单晶薄膜，在制备电子、电光设备的薄膜和图案化纳米结构中具有潜在应用前景[20].重要的膜沉积技术包括金属有机气相沉积[35]、原子层沉积[36]、溅射[37]等.气相外延法的衬底选择取决于其组成、晶体缺陷及薄膜和衬底之间的晶格匹配度，衬底通常是通过熔体法生长的块状晶体切割而成的薄膜材料.膜沉积过程分为同质外延（即在相同材料的衬底上生长）和异质外延（即在不同的衬底材料上生长）.表1概述了部分气相生长方法[38～46].