《表3 按物理特性分类的颗粒物分布表（例）》

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《清洁度检测标准ISO 16232中SEM/EDX分析方法解读与应用》

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为了将检测到的颗粒物分到不同材料类别，SEM/EDX系统必须对材料类别进行定义，而料类别则取决于元素组成，表2给出了几种材料类别元素组成的例子。如果需要，颗粒物不同材料类别还可以根据其物理特性一起量化，如电导率、硬度或耐磨性，见表3中例子。