《表1 不同氧化时间对应的湿氧氧化层厚度》

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《基于TCAD的氧化工艺参数影响分析》

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湿氧氧化时，分别设定氧化温度为1 100℃，1 atm，氧化时间分别设定为20 min，40 min，60 min，80 min，100 min，120 min。得到的氧化后果结果见表1。