《表3 因素和水平:咪唑啉复合缓蚀剂的研制与评价》

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《咪唑啉复合缓蚀剂的研制与评价》


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实验按L9(34)正交表安排正交试验,其中因素为上述四种药剂,水平数为加量,具体因素与水平如表3所示。