《表5 不同取代基的N-烷基苯甲酰胺基双咪唑啉缓蚀剂的合成》

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《N-烷基苯甲酰胺基双咪唑啉缓蚀剂的合成及性能研究》


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根据文献[5-6],以不同取代基的3,5-二甲酸-1-N-烷基苯甲酰胺分别与二乙烯三胺为反应原料,其物质的量比为1.0∶2.4,制备N-烷基苯甲酰胺基双咪唑啉缓蚀剂,研究了不同取代基的3,5-二甲酸-1-N-烷基苯甲酰胺做为反应底物生成N-烷基苯甲酰胺基双咪唑啉缓蚀剂的产率,结果见表5。