《表6 SF6在微水微氧作用下放电分解路径的反应方程式》

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《SF_6在微水微氧下放电分解机理的研究》

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仿真计算出的H2O、O2以及SF6分解组分分子的键长参数和键角参数见表4、5，在微水和微氧作用下，GIS/GIL等气体绝缘设备中SF6气体可能的分解路径[15-19]见图2，反应方程式见表6，分解组分主要有SOF2、SOF4、SO2F2、HF、SO2、S2F10O、S2F10。