《表5 H2O和SF6分解组分分子的键角》

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《SF_6在微水微氧下放电分解机理的研究》

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反应1-16在298.15～1 000 K温度范围内吉布斯自由能与温度之间的关系见图4、5。在298.15～1 000 K温度范围内，表6中除反应1、2、15、16外，所有反应的自由能均小于零，表明反应可以自发进行。从图4、5可以看出，随温度升高反应2、4、16的吉布斯自由能显著上升，表明反应进行的趋势逐渐变小；随温度升高反应3、8、11、13、14、15的吉布斯自由能显著下降，表明反应进行的趋势逐渐变大。对于其他反应的吉布斯自由能受温度影响较小。