《表2 影响因子评定关联矩阵表》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《基于田口试验设计的TiAlN涂层膜基结合力控制参数优化》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

涂层制备过程中，膜基结合力受多种因素影响（信号因子与噪声因子），各因子均不同程度对膜基结合力产生影响，参考文献[8-10]，确定制备Ti Al N涂层过程中的影响因子包括氩氮流量比、基本偏压、Al含量、工作气压、脉冲电流、温度、沉积速率7个工艺参数，同时，根据相关研究成果及经验对各影响因子的三个维度进行量化，应用关联矩阵对影响因子进行选择评估，如表2所示。