《图1 传统分布式网络通信系统》

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《光刻机运动台系统建模与优化》

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光刻机的结构原理如图1所示，汞灯发出的光源经过照明系统的匀化，将掩模上的图形成像到硅片上，在光刻机中，投影物镜系统是最核心的部件，决定了最终的成像效果，其内部包含很多精密镜片，不适合进行移动，所以步进光刻机的重复曝光过程是通过工件台的步进运动实现的，运动是光刻机的关键子系统，是实现功能和精度的基础。