《表1 碳化硅材料参数表》

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《基于两种热源模型的激光刻蚀数值仿真》

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实验采用碳化硅材料，其热物参数包括密度、比热容、热扩散系数、热导率等[2，20]。在模拟分析瞬态温度场中，一般而言，材料的热物参数随着温度的变化发生非线性变化，为了简化模拟，相关参数均取平均值，见表1。为研究激光在空气中加工碳化硅材料时温度场的变化，采用有限元软件并结合子程序模拟激光照射材料表面时温度场的变化。本次模拟分析所选用的试件尺寸为5 mm×5 mm×2 mm，室温为20℃，激光光斑有效半径为0.1 mm，重复频率为35 Hz，激光脉冲宽度为0.8 ms。仿真时，模型尺寸为5 mm×5 mm×2 mm，在激光作用区域采用网格细化处理单元类型为DC3D8。