《表1 两种树脂材料的临界曝光量及透射深度参数》
液态光敏树脂对紫外光的吸收遵循比尔-朗伯特(Beer-Lambert)定律,据此可作出层厚与曝光能量ln E的相关关系曲线,进而求出拟合直线的斜率b(透射深度)及直线与横坐标轴的交点a,并由公式y=a+bx求得临界曝光量x。所得红、白色两种树脂的固化性能参数见表1。
图表编号 | XD0015092700 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2018.02.20 |
作者 | 武向权、连芩、何晓宁、孟佳丽、李涤尘、靳忠民 |
绘制单位 | 西安交通大学机械工程学院机械制造系统工程国家重点实验室、西安交通大学机械工程学院机械制造系统工程国家重点实验室、西安电子科技大学微电子学院宽带隙半导体技术国家重点学科实验室、西安交通大学机械工程学院机械制造系统工程国家重点实验室、西安交通大学机械工程学院机械制造系统工程国家重点实验室、西安交通大学机械工程学院机械制造系统工程国家重点实验室 |
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