《表4 各参比实验室VOS测试数据》

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《半导体器件静态直流参数能力比对方法》

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为全面评价各实验室对器件静态直流参数检测能力水平，获得可靠的比对结果，本次比对的项目较多，且为消除随机误差，每个参数都需进行10次测试。而本文主要阐述实验室间能力比对方法，故测试结果和后续详细的数据处理仅以FX198输入失调电压VOS为例进行说明，其他参数比对结果以总结方式体现，FX198输入失调电压VOS各参比实验室测试数据见表4。