《表1 泵组工艺需求与技术指标》

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《荏原AAS100WN真空泵自主维护》

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荏原AAS100WN真空泵组工艺需求与技术指标见表1，主要由机械泵组、氮气系统、冷却水系统、电气控制系统（含检测保护）组成。目前在半导体、薄膜太阳能电池以及其他工艺条件苛刻的行业，均采用罗茨泵与干泵组成真空泵组，一方面可以减小螺杆泵尺寸，提高压缩比，提高了中真空阶段抽速，另一方面极限真空度也可以提高一个数量级[1]。