《表2 多晶硅切片一组数据报告表》

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《DW技术全面替换传统砂浆切割工艺研究和展望》

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金刚线切片机切割多晶硅的一组生产报告:70μm电镀线，装载硅锭长度700 mm，截面尺寸156 mm×156 mm，槽距278μm，切割效率高，切割时间90 min，线耗0.94 m/片，硅片成品率高，一次A片成品率约93.44%，如表2所示。