《表3 化学机械抛光技术涉及的分类领域》
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在分析重要申请人的关键技术之前，先梳理主要的专利分类位置及注释如表3（为简便起见，仅注释到大组）：
| 图表编号 | XD00148861700 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.09.25 |
| 作者 | 刘然、陈亚娟 |
| 绘制单位 | 国家知识产权局专利局专利审查协作河南中心、国家知识产权局专利局专利审查协作河南中心 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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