《表1 通讯状态转换表:GEM状态转换在化学机械抛光设备系统中的应用》

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《GEM状态转换在化学机械抛光设备系统中的应用》


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通讯状态和控制状态都有很多子状态,为了方便分析,表1和表2分别列出通讯状态转换和控制状态转换。