《表1 图1中定区EDS分析结果(原子分数)》

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《CVD法制备铝化物涂层及其对Inconel 718合金高温持久性能及低周疲劳性能的影响》

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图1为渗铝之后试样的截面扫描电镜形貌，涂层出现明显的双层结构，即外层（Outer Zone，OZ）和互扩散层（Inter-Diffusion Zone，IDZ），外层为较纯净的均质相，只有少量的白色点状析出物，互扩散区则出现小块状析出物，靠近基体部分析出物变为柱状。对涂层表面作XRD分析，图2为铝化物涂层XRD谱，表1为图1中定区EDS分析结果，列出了主要包含的元素含量。可以看出，外层主要为Al和Ni元素，为β-Ni Al相，Cr、Fe等元素主要固溶在β-Ni Al相中，靠近表面的一侧Al元素较高，为富Al的β-Ni Al相，靠近扩散层的一侧Ni元素含量较高，为富Ni的β-Ni Al相。互扩散区Ni含量较低，Cr含量较高，有很多富含Nb、Mo小块状析出物。在较高温度下，Ni的扩散速度大于Al[3]，在铝化物涂层的生长过程中，基体中的Ni向外扩散，与吸附在基体表面的Al原子反应生成β-Ni Al相，因此涂层主要以向外生长为主。在基体合金原表面以内，Ni大量向外扩散，而原来固溶在Ni晶格中的Nb、Mo等元素原位析出，出现块状、柱状析出物，为互扩散区[4]。