《表2 TiCN薄膜的干摩擦试验结果》

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《纳米复合薄膜水润滑摩擦学性能的研究进展》

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虽然金属氮化物在水润滑下有良好的摩擦磨损性能，但是从文献的报道可以看出，TiN及CrN在水润滑条件下的摩擦系数仍然处在一个中等的数值0.2～0.34[53-57]。因此，研究者希望通过润滑元素（C或Si）的掺杂进一步降低TiN及CrN在水润滑中的摩擦系数。目前，如表2所示，TiCN薄膜在干摩擦条件下表现出比TiN更优异的摩擦磨损特性[58-61]。然而，研究其在水润滑条件下摩擦学特性的报道很少。王谦之等[62-63]对比了TiCN在空气及水润滑条件下的摩擦学特性，发现在水润滑条件下TiCN薄膜具有更低的摩擦系数（0.18）和磨损率（2.7×10-6 mm3/（N?m））；通过进一步的研究发现C含量与TiCN薄膜成分、结构、力学性能、水润滑摩擦学特性之间存在紧密的联系，指出：当TiCN薄膜中C原子数分数为2.46%时，TiCN/SiC在水中表现出最低的摩擦系数（0.24）和磨损率（3.3×10-6 mm3/（N?m））。