《表1 高可靠行波管关键工艺控制要求标准编号和名称》

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《关键工艺过程控制标准对高可靠行波管的重要作用》

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以往真空电子器件的标准化工作主要集中在对产品的检验考核方面，标准主要有GJB 3312A-2011《微波电子管通用规范》、GJB 3311A-2011《微波电子管测试方法》和GJB 616A-2001《电子管试验方法》，涵盖了对产品的电性能要求、环境适应性要求、质量保证规定、电性能参数测试方法和环境试验方法，但在产品设计和制造工艺方面还没有形成标准。产品的质量与可靠性可以通过考核进行证实和评估，但事后评估只是一种手段，更为重要的是要加强前期控制，在高可靠行波管的设计和工艺过程控制（制造）方面加强工作，提高产品的固有可靠性，从根本上提高产品的可靠性，使“可靠性是设计出来的、制造出来的”得到落实。高可靠行波管是目前和今后很长一段时间内电真空器件中使用最多、工艺最复杂的产品，因此，对高可靠行波管制造工艺要求进行研究、在工艺规范方面制定系列关键工艺过程控制要求标准，以指导各企业工艺规范的编制，在真空电子器件专业具有很强的代表性。已制定的高可靠行波管关键工艺控制要求标准编号和名称见表1。