《表3 不同冷却气流下纳米硅粉的BET平均粒径》

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《感应等离子制备纳米硅粉的工艺及性能研究》

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选用5μm原料硅粉，保持其他参数不变，改变冷却气流量，依次将所制备的纳米硅粉编号为Si-1、Si-2、Si-3、Si-4，用BET平均粒径对样品进行表征，结果如表3所示。