《表1 微硅粉的化学组成》

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《催化剂、温度和保护气体对微硅粉合成碳化硅晶须的影响》

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实验所用微硅粉原料取自青海华硅集团。通过X射线荧光光谱法（XRF）分析微硅粉的主要化学成分及含量，结果如表1所示。结合微硅粉的形成过程，可知微硅粉主要成分为Si O2，其中主要的杂质为镁、钠、铁、钙等。图1是微硅粉的X射线衍谱图谱，由图可知，微硅粉的主要成分SiO2是呈无定形状态。图2是微硅粉的SEM形貌，从图中可以看出，颗粒呈椭球形形貌且颗粒分布范围较广，从几个微米到几百微米。