《表2 反应精馏工艺物料组成》

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《反应精馏技术用于硅烷生产工艺的研究》

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为解决上述问题，结合热集成原理，开发出三氯氢硅反应精馏生产硅烷工艺，该技术解决了受化学平衡限制的反应，通过及时移除反应产物的方式来消除转化和相平衡的限制，理论上转化率可以达到100%，具体流程见图2。原料三氯氢硅直接加入到反应精馏塔T1填料层下部，随着塔底蒸汽加热进入到反应段，进行分段反应。塔顶气体经过分级冷凝回流和进入硅烷精馏塔T2，T2塔上部得到高纯度硅烷，下部二氯氢硅等未反应物料返回T1塔进行再次反应。物料组成见表2。