《表1 STEP-Si-5-1台阶样品的测量结果》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《抗干扰并行物方差动轴向的高精度三维形貌测量》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

将标准样品STEP-Si-5-1放置在载物台上，完成聚焦后，移动载物台，分别在焦前10μm、焦后10μm处各取一张图像，然后根据刻度好的测量曲线对标准样品进行3D形貌重建。由于获取的图像大小是2048pixel×2048pixel，每个像素的物理尺寸是6.5μm×6.5μm，且采用的是10×、NA为0.25的物镜，则图像获取样本区域的大小为1331.2μm×1331.2μm。台阶样品的周期为50μm，在全视场图像范围内大约存在26个台阶。取图6中虚线位置靠右的13个台阶，其轴向高度的测量结果数值如表1所示，修正前被测台阶面的平均高度值为4.877μm，相对误差为2.91%，修正后被测台阶面的平均高度值为4.776μm，相对误差为0.78%。