《表2 Al2O3样品中各元素含量随刻蚀时间变化》

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从图2 Al2O3样品的全谱可知，样品只含碳、氧、铝、氮等元素，相对含量依次为79.95%、11.43%、4.43%、4.17%，碳含量较高，经分析可知：可能是样品本身含碳，也可能是样品表面被空气或外界其他物质碳污染，为了探究其中的缘由，下面我们将对样品进行深度剖析，表2是Al2O3样品经过不同时间刻蚀后各元素的相对含量数据。