《表1 不同浓度氧化剂中铝电极的腐蚀电位和腐蚀电流》

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《氧化剂对铝栅化学机械抛光的影响》

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采用Tafel曲线测试氧化剂浓度对电化学特性的影响，结果如图5所示。对Tafel曲线进行拟合计算得到不同浓度氧化剂中铝电极的腐蚀电位Ecorr和腐蚀电流Jcorr（见表1）。