《表1 传感器芯体性能测试结果》

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《不锈钢压力传感器芯体研制》

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如表1所示，分别测试了3只不锈钢压力芯体分别在0，1，2，3，4，5 MPa的压力输出，同时依据GBT15478—1995压力传感器性能试验方法进一步分析了传感器的线性度，1#、2#、3#样品分别为0.32%，0.34%，0.49%，技术指标稳定可靠，初步实现了设计目标。可以看出传感器的零点都不在0 m V，同时满量程输出也均不同，这可能是因为压力传感器芯体上的硅应变片贴片的位置精度和不锈钢感压膜的厚度加工精度不够的原因，需要在后续的研制中进一步改进。