《表6 表面粗糙度方差分析表》

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《半导体激光器抛光1.2333模具钢工艺参数优化研究》

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方差分析结果，如表6所示。在α=0.15的显著水平下，FC=6.581>F（2，2）0.15=5.67，扫描速度表面粗糙度具有显著影响，这与直观分析一致。验证了激光抛光过程中，扫描速度是影响表面抛光质量最显著的因素。