《表4 涂层的化学成分及力学性能》

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《TiB_2涂层刀具制备及干铣削Ti-6Al-4V磨损行为研究》

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对涂层的化学成分进行EDS能谱分析，结果如表4所示。虽然B为轻原子，EDS测量结果存在一定的误差，仍可判断出B/Ti原子比远远大于2，即涂层成分存在“过化学计量比”现象。这是由于B原子原子半径显著小于Ti原子，与氩离子的碰撞机会就少，使得B原子的流动性更高，更快更容易的到达基体[11-12]。这些过量的B原子或者以无定形的状态存在，或者进入Ti B2的晶格中，这种富B组织可以抑制晶界滑移，从而有利于增强Ti B2涂层的硬度[13-14]。这可从表4中维氏硬度高达4000 HV得到佐证。