《表1 不同类型激光作用下的微孔深度(5个脉冲)》

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《基于纳飞秒双脉冲激光的蓝宝石蚀除研究》

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如图19分别为不同脉冲组合下，激光烧蚀孔的原子力显微镜形貌图，由图可知，单飞秒作用下微孔深度最小，纳飞秒脉冲作用下微孔深度有明显的提高根据仿真所用激光的能量密度参数，在不同激光脉冲组合下对500μm厚的蓝宝石分别进行五组烧蚀试验试验脉冲个数为5，利用原子力显微镜测量微孔深度大小，并记录于表1.