《表3 2 000 mL水配比分析表》
从以上数据可以看出,本系统的配液流量精度不大于±2%,可以满足常规半导体设备的使用需求。
图表编号 | XD00118788800 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.12.30 |
作者 | 夏楠君、祝福生、范文斌、王文丽、刘凯文、王洪建 |
绘制单位 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所、中国电子科技集团公司第四十五研究所、中国电子科技集团公司第四十五研究所、中国电子科技集团公司第四十五研究所、中国电子科技集团公司第四十五研究所、中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |