《表3 快速反射镜机构的模态分析结果》
将模态分析得到的快速反射镜机构的各阶谐振频率和振型汇总,整理出表3。分析表3可以得出,快速反射镜机构除了在两个工作方向上的谐振频率较低以外,在其他各方向都具有较高的谐振频率。将表中的数据与公式(2)对比可知,柔性支撑的刚度可以满足快速反射镜机构的谐振频率要求,十字型柔性铰链尺寸参数的选择具有合理性。若采用不完全微分法等控制算法抑制快速反射镜机构在两个工作方向上的谐振,则系统的第一个谐振峰将会出现在292.2 Hz左右,不会对闭环控制系统在200 Hz带宽内的稳定性造成影响。
图表编号 | XD00118760400 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.12.25 |
作者 | 汪奎、辛宏伟、曹乃亮、石震 |
绘制单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、中国科学院大学、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、中国科学院大学 |
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