《表1 含有误差数据坐标系偏差量恢复值》

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《基于非线性优化方法的离轴非球面轮廓测量面形恢复技术》

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利用仿真软件生成直径100mm中心曲率半径500mm的椭球面如图4(a），根据2.1节引入被测工件的基准偏差使椭球面偏移，偏移量为δx，δy，α，β，γ的值分为1、-0.5、-0.4、2、1.1．在仿真的镜面上模拟采点，采点间隔2mm．采集点引入测量系统的随机误差．现实中采用HEXAGON公司的三坐标仪作为轮廓测量设备，利用标准量块对三坐标仪进行标定，经过测量可以确定三坐标仪在x，y，z三个方向的随机误差小于0.5μm，重复精度小于0.1μm，因此将随机误差设为±0.6μm．令仿真椭球面包含如图4(b）所示三组不同PV值的面形误差，利用2.1节算法对仿真镜面面形恢复，结果如图4(c），三种情况下测量坐标系偏移量的优化值见表1.