《表2 测量不确定度来源及分析》

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《基于标准探测器的硅单光子雪崩探测器探测效率测量》

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光源输出波长为632.8nm，光谱半高宽为0.6nm，三组滤光片的透过率分别为1.99×10-3、7.66×10-4和8.38×10-4，Si-SPAD的计数值约为650kHz，探测效率测量结果为η=0.694±0.004，测量不确定度Urel=0.6%（k=2），测量不确定度分析见表2．由表2可以看出，不确定度A类评定即测量重复性引入的不确定度为0.1%；不确定度B类评定主要分项有Si-SPAD的计数值波动和放大器增益系数校准．Si-SPAD计数值波动较大的原因经分析是由光斑波动和SAPD光敏面不均匀性造成．这是由于实验中所用光斑尺寸约为85μm±5μm，由于光斑很小，其波动约在10μm以内．经查阅文献[9]，该类型探测器在中心区域40μm范围内的均匀性约～0.3%，20μm范围内的均匀性约为～0.1%，这与本文测得的结果基本符合．标准探测器Si-trap在400nm～980nm波段内，绝对光谱响应度测量不确定度为0.05%～0.2%(k=2）[17]，预计在整个波段内Si-SPAD的探测效率测量不确定度可优于1%（k=2）.