《表1 不同锗片腐蚀液的成分》

《表1 不同锗片腐蚀液的成分》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《化学腐蚀工艺对锗单晶片机械强度的影响》


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配制不同的腐蚀液,每次腐蚀10片锗片,去除20μm左右。腐蚀后清洗甩干,测试其强度。腐蚀液比例见表1,测试结果见图1。图1中菱形为四种腐蚀液的强度测试均值。