《表2 SAW传感器对硫化氢气体的循环响应实形数据》

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《用于硫化氢快速检测的声表面波传感器设计》

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实验基本操作是，先通入空气，待传感器系统基线稳定后开始通入给定浓度的硫化氢气体．该过程中三乙醇胺敏感膜吸附硫化氢气体，1 min后切换气袋，再通入空气进行5 min的解吸附．首先，对传感器的重复性进行了测试．将SAW硫化氢传感器置入15.2 mg/m3的硫化氢气体中，并重复测试其响应以观察传感器响应的重复性，如图7所示．当通入硫化氢气体时，三乙醇胺敏感膜吸附硫化氢气体分子，导致声表面波传播速度发生变化，进而导致其频率和相位发生改变，鉴相电路将200 MHz信号源与传感器输出电信号之间的相位差的变化转换为与该相位差成比例的电压信号输出．从图7和表2中可以看出，传感器对硫化氢的响应非常快速且体现出良好的重复性与稳定性，平均响应时间t90≤29.9 s，针对15.2 mg/m3的硫化氢气体传感器平均响应电压达42.71 m V，故传感器灵敏度为2.81 m V·mg-1·m3.