《表2 样品截面EDS元素测试结果》
图2为样品复合膜经包埋处理后截面放大2000倍的SEM照片,电镜照片显示有明显的4层结构,电镜照片上从下到上对应复合膜从外表面到内表面,每层膜厚分别约为13、16、10、67μm,为便于后续表述,该4层分别以A、B、C、D层来表述。图3为复合膜截面Mapping能谱测试结果,从元素分布来看,C层主要为Al元素的集中,由此可以确认C层为铝层。表2为样品截面整体的EDS元素测试结果,除有机元素C、O外,还检测到常量的Al元素(为C层铝层引入)以及微量的Fe和Si元素,其中微量的Si元素可能为抛光时抛光液引入。其电镜测试分层结果示意图见图4。
图表编号 | XD00111382900 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.11.15 |
作者 | 王国雨、孙梦捷、王永香、禄春强、孙衎、万峰、刘峻、李军 |
绘制单位 | 上海市质量监督检验技术研究院轻工与化工产品质量检验所、上海市质量监督检验技术研究院轻工与化工产品质量检验所、上海市质量监督检验技术研究院轻工与化工产品质量检验所、上海市质量监督检验技术研究院轻工与化工产品质量检验所、上海市质量监督检验技术研究院轻工与化工产品质量检验所、上海市质量监督检验技术研究院轻工与化工产品质量检验所、上海市质量监督检验技术研究院轻工与化工产品质量检验所、上海市质量监督检验技术研究院轻工与化工产品质量检验所 |
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