《表1 新一代主流超高分辨率扫描电镜参数》

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《扫描电子显微技术与表征技术的发展与应用》

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高分辨率是电子显微镜明显优于光学显微镜的一大特点，常规的热钨灯丝扫描电子显微镜，分辨率最高只能达到3.0nm；常规场发射枪扫描电子显微镜，分辨率可以优于1.0nm，新一代商品化大束流超高分辨率扫描电镜达到0.7nm，见表1所示。目前超高分辨率扫描电镜分辨率高达0.4nm，如日立高新超SU9000高分辨率场发射扫描电子显微镜。扫描电镜高分辨率基于以下技术。