《表3 两种设备的ADG436电路漏电流测试结果Tab.3 p A-level current measured values of the ADG436 by B1500A and T861 tes

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《基于T861测试系统的皮安级漏电流测试方法》

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安捷伦B1500A半导体参数分析仪的高速电源监控单元（HPSMU）能够测量电流的范围为1 A以内，最小电流测量分辨率为10 f A[8]。使用B1500A和所设计的基于T861测试机的皮安级漏电测试板卡分别对ADG436电路进行了测量，B1500A使用前先进行校准，10次测量后取算术平均值，测量结果如表3所示，表中VS为测试ADG436型模拟开关漏电流时，开关输入端所加的电压值。