《表1 DOE试验设计：碱性蚀刻线路锯齿状现象分析与改善》

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《碱性蚀刻线路锯齿状现象分析与改善》

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试验计划主要由线路前处理方式、曝光能量、贴膜速度等方面进行正交试验（DOE），试板蚀刻后进行AOI（自动光学检测）全检，统计线路狗牙不良率。线路狗牙严重程度根据AOI扫描报点数目及板面线路突起凹陷程度进行分级，以便更好分析产生的原因，试验结果（见表1）。