《表3 试验铲刀的结构参数》

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《玻璃基板的自动脱附铲刀设计》

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玻璃基板剥离功耗试验系统如图12所示，将若干把具有固定倾角的铲刀（如表3所示，不同铲刀倾角相差5°），分别安装在WEF-6A200-4-RC24型WACOH六维力传感器上，力传感器与MZ04型NACHI六轴机械臂末端固定。0.7mm厚度玻璃基板贴附与吸附垫上，设置铲刀底面与吸附垫接触力为3N，机械臂以恒定速度（0.01m/s）对玻璃基板进行剥离，实时记录进给力和位移数据。由于铲刀与吸附垫的接触力始终保持在3N，即底面摩擦力为定值，故剥离阶段的功耗计算公式为：