《表1 材料物性参数：上海光源时间分辨超小角散射线多层膜单色器的设计》

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《上海光源时间分辨超小角散射线多层膜单色器的设计》

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根据多层膜一晶所受的热负载，晶体采用两侧夹持的液氮间接冷却方式，经有限元分析优化，多层膜一晶尺寸取为150 mm×33 mm×30 mm（长×宽×高）。在有限元分析中，采用四分之一模型，多层膜层选用Shell 131单元，将其分为20个多层膜单元，每层10个周期。硅晶体选用Solid单元划分[6]。对流换热系数取3 000 W·mm-2·°C，初始温度T=80 K。1/4光斑尺寸：22.6 mm×2.8 mm，吸收热载荷13.23 W。单晶硅材料为非线性模型，相关材料物性参数如表1和图2所示，对多层膜一晶进行有限元热分析。